半導體晶片搬運用機器人 負載:- 動態范圍:1215mm 控制柜:SR100 用途:搬運、半導體
大動作范圍:EFEM模塊移動距離可達4套應用設備,無需使用底架,極大地提高了搬運效率。 高速搬運:300枚/小時 適用:300mm-450mm晶片搬運
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